天眼查App显示,2025年7月18日,「一种气体输送柜及气体输送设备」专利正式进入专利权授权阶段。申请人为上海正帆科技股份有限公司、江苏正帆半导体设备有限公司,该项气体输送技术专利涉及特殊气体的存储与输送场景。据专利信息显示,该设备通过设置于电控区的压差开关和正压控制装置,能够实时控制电控区的正压状态,从而显著提升气体输送过程的安全性。发明人为顾鑫、吴凯健、李海宝。本申请实施例提供的气体输送柜及气体输送设备,可用于特殊气体的存储和输送,安全性高,具有广泛的应用前景。
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