横店集团东磁股份有限公司电池片刻蚀过程降低翘曲度的方法专利公布(半导体制造专利快讯)

天眼查App显示,2025年7月18日,横店集团东磁股份有限公司的「电池片刻蚀过程降低翘曲度的方法、TBC电池片的制备方法、TBC电池片及湿法链式机」正式进入专利的公布阶段。申请人为横店集团东磁股份有限公司,该项半导体制造专利涉及电池片刻蚀过程中对翘曲度的控制方法及TBC电池片的湿法制备流程。据专利信息显示,该方法通过感应器检测电池片前驱体位置,并结合工控机与喷淋系统动态调节,使电池片背光面形成液膜,从而优化刻蚀过程,提升清洗效果并有效降低电池片翘曲度,技术效果数据提升达显著优化。发明人为张婷、吴成坤、魏露露、俞鼎行、夏磊。本申请还披露了完整的湿法链式机结构及工艺参数,为提升电池片良率提供创新解决方案。

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