天眼查App显示，2025年7月18日，「一种摆动式的束流监测装置及其使用方法」正式进入专利的公布阶段。申请人为中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，该项测量测试专利涉及分子束外延束流监测领域。据专利信息显示，该装置通过摆动波纹管、保护外罩与监测组件的结构设计，实现装配方便、运动稳定、节省空间的束流监测效果，并对束流强度的监测精度实现显著优化。发明人为王忠旭、张学锋、毕永生、张学全、王勇、赵崇凌、王启佳。专利摘要显示，该装置通过大法兰盘密封安装在腔体上，支撑空心管连接摆动波纹管与监测组件，电极引线座通过支撑空心管实现真空内接线，动力源通过连杆结构驱动保护外罩摆动，从而实现对外延腔室内束流强度的精准监测。

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