金宏气体股份有限公司发布新型乙硅烷纯化方法专利

天眼查App显示,近日,金宏气体股份有限公司与全椒金宏电子材料有限公司联合研发的“乙硅烷的纯化方法”专利正式公开,专利号为CN202411135258.2。该专利提出了一种高效、简便的乙硅烷纯化技术,旨在解决现有技术中乙硅烷纯化过程中存在的工序复杂、效率低下等问题。

根据专利摘要,该纯化方法包括四个主要步骤:首先,通过多级过滤器和吸附器去除混合气体中的固体杂质;其次,利用脱重塔进行一级精馏,去除重组分杂质;接着,通过惰性材料的有机高分子反渗透膜进行膜分离;最后,通过脱轻塔进行二级精馏,去除甲硅烷等轻组分杂质。该方法不仅操作简单,工序少,还能快速实现乙硅烷的高质量分离提纯。

该专利的发明人包括金向华、孙守城、刘志军和陈琦峰,专利的公开日期为2024年12月31日。这一技术的应用有望在半导体、光伏等高科技产业中发挥重要作用,进一步提升相关产品的质量和生产效率。

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