天眼查App显示,近日,江苏亨芯石英科技有限公司与江苏亨通光电股份有限公司共同宣布,他们成功开发了一种创新的光掩模石英基板制备系统及方法。这项技术通过将烧结炉与槽沉炉一体化设计,实现了石英棒在烧结后直接进行槽沉整形,从而有效缩短了生产周期,降低了生产成本。
该系统的核心在于其独特的驱动机构和槽沉模具设计。驱动机构通过吊挂驱动石英棒下降,使其在烧结区致密化后进入槽沉炉,由底部开始逐渐熔融摊开在槽沉模具内。这一设计避免了因石英棒长径比过大导致的折叠、倾倒等问题,进而减少了产品中出现条纹、气泡、均匀性差以及应力大的情况。
据悉,这项技术不仅实现了大尺寸、低缺陷、高性能、高纯度产品的生产,还可广泛应用于IC光掩膜基板的开发。江苏亨芯石英科技有限公司表示,他们将继续致力于技术创新,为行业提供更高效、更可靠的解决方案。
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