江苏亨芯石英科技与亨通光电联合研发新型掩膜板坯沉积技术

天眼查App显示,近日,江苏亨芯石英科技有限公司与江苏亨通光电股份有限公司联合研发的“一种大尺寸方形掩膜板坯的沉积装置及方法”获得发明专利,专利号为CN202411427244.8。该技术于2024年12月31日正式公布,标志着两家公司在掩膜板坯制造领域取得了重要突破。

该发明通过反应室、模具池、模具托等核心组件,结合生产燃烧器和均热燃烧器的协同作用,实现了大尺寸方形掩膜板坯的一步沉积。与传统工艺相比,该技术简化了产品制备工序,减少了材料损耗,显著降低了生产成本。

据专利摘要介绍,该装置通过运动系统驱动模具池沿水平方向往复移动,确保掩膜板坯的均匀沉积和高温软化摊平。这一创新不仅提高了生产效率,还为掩膜板坯的后续加工提供了更高的精度和一致性。

江苏亨芯石英科技有限公司和江苏亨通光电股份有限公司表示,该技术的成功研发将进一步推动掩膜板坯制造行业的技术进步,为相关领域的高质量发展提供有力支持。

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