一种喷淋结构及镀膜设备

天眼查App显示,江苏微导纳米科技股份有限公司公开了一种新型喷淋结构及镀膜设备,该技术属于真空镀膜领域。该喷淋结构包括喷淋主体和控制阀,喷淋主体沿第一方向设有多个进气通道,每个进气通道连通多个喷淋通道,相邻的两个进气通道中的喷淋通道交错排布,并设有喷淋口。通过控制阀调节进气通道与喷淋通道之间的开度,确保各喷淋口喷出的工艺气体流量一致,从而保证待镀膜件的板面膜厚均匀,显著提高镀膜质量。此发明有助于提升真空镀膜工艺的精度和效率,为相关行业提供了新的解决方案。专利申请号为CN202411391208.0,公开日期为2025年1月7日。

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