天眼查App显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司近日公开了一项发明专利，旨在提高无掩膜光刻机的曝光功率密度。该发明涉及一种新型装置和方法，包括光源、照明光路、调制单元和控制器。控制器连接光源和调制单元，用于控制光源发射照射光线，并对原始图像进行拉伸或压缩处理，以确保输出的曝光图像不变形且与原始图像尺寸一致。通过这种方式，不仅提高了曝光面的功率密度，还保持了扫描宽度，降低了成本。此技术有望在半导体制造领域带来显著提升，特别是在提高光刻效率和精度方面。

风险警告：本文根据网络内容由AI生成，内容仅供参考，不应作为专业建议或决策依据。用户应自行判断和验证信息的准确性和可靠性，本站不承担可能产生的任何风险和责任。内容如有问题，可联系本站删除。