深圳市易天自动化设备股份有限公司推出晶圆UV贴膜机自动化控制新方案

天眼查App显示,近日,深圳市易天自动化设备股份有限公司成功研发并公开了一项名为“一种晶圆UV贴膜机的控制方法及其系统”的发明专利(专利号:CN202411864203.5)。该技术通过集成卷膜、切膜、撕膜、贴膜和贴附易撕贴等多项功能,实现了晶圆贴膜的全自动化操作。与传统人工贴膜方式相比,该技术不仅大幅提高了工作效率,还显著降低了UV膜在操作过程中受到污染或损伤的风险。该专利的公开标志着晶圆制造领域在自动化和智能化方面迈出了重要一步。

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