天眼查App显示，导语： 北京北方华创微电子装备有限公司近日申请了一项关于静电卡盘电源和半导体工艺设备的发明专利，专利状态已公布，预计于2025年2月18日正式公开。
关键点：
1. 专利名称： 一种静电卡盘电源和半导体工艺设备。
2. 申请时间： 2024年11月1日。
3. 公开时间： 2025年2月18日。
4. 专利类型： 发明专利。
5. 申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司。
6. 发明人： 纪安宽、薄海英、彭宇霖、刘晓行、王松涛、李华。
7. 地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号。
该专利涉及发电、变电或配电领域，展现了企业在半导体设备技术领域的创新能力。
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