华海清科股份有限公司申请新型防护装置及抛光系统专利

天眼查App显示,近日,华海清科股份有限公司申请了一项名为“一种防护装置、化学机械抛光系统和抛光方法”的发明专利,专利号为CN202411887786.3,专利状态为“专利的公布”。

关键点:
- 申请时间:2024年12月20日
- 公布日期:2025年2月25日
- 专利类型:发明专利
- 申请人:华海清科股份有限公司
- 发明人:张玉同、黄锁生、代永昌
- 地址:天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号
- 技术领域:磨削、抛光

该专利涉及化学机械抛光系统的防护装置及方法,具体技术细节尚未公布。

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