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北京屹唐半导体科技股份有限公司于2025年2月28日公布了其发明专利“真空机械手及半导体工艺设备”。该专利涉及手动工具、轻便机动工具及机械手等领域，旨在提升半导体工艺设备的效率和可靠性。

关键点：
- 专利名称：真空机械手及半导体工艺设备
- 申请时间：2025年1月13日
- 公布时间：2025年2月28日
- 申请人：北京屹唐半导体科技股份有限公司
- 发明人：么曼实、王春雷、李海卫、刘飞、郭梦尧
- 地址：北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢
- 邮编：100176
- 专利类型：发明专利
- 分类号：B25J15/06

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