浙江晶盛机电股份有限公司公布发明专利:一种硅芯生长炉和硅料生长的控制方法

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浙江晶盛机电股份有限公司于2025年2月28日公布了其发明专利,涉及一种硅芯生长炉和硅料生长的控制方法。该专利旨在提高晶体生长效率和质量,为半导体行业提供技术支持。

关键点:
- 申请时间:2024年12月9日
- 公布日期:2025年2月28日
- 申请人:浙江晶盛机电股份有限公司
- 发明人:曹建伟、朱亮、倪军夫、王嘉杰、田川川
- 专利类型:发明专利
- 专利号:CN202411803060.7
- 分类号:C30B15/00等
- 地址:浙江省绍兴市上虞区曹娥街道五星西路99号
- 邮编:312300

该专利技术将有助于提升硅芯生长过程中的控制精度,进一步推动半导体材料制造领域的发展。

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