东方晶源微电子科技发明专利公布,涉及检测设备及晶圆位置确定方法

天眼查App显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司近日公布一项发明专利,涉及检测设备、晶圆位置的确定方法及相关产品。该专利已进入公布阶段,预计将于2025年3月4日正式公开。

关键点:
- 专利名称:检测设备、晶圆位置的确定方法及相关产品
- 专利类型:发明专利
- 申请时间:2024年11月13日
- 公布时间:2025年3月4日
- 申请人:东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
- 发明人:石佩茹、张建
- 专利号:CN202411620518.5

该专利技术主要应用于基本电气元件领域,进一步提升了晶圆检测的精度与效率。

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