天眼查App显示，导语： 东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司的一项发明专利于2025年3月11日公布，涉及一种电子光学镜筒及带电粒子束检测和成像设备的技术创新。
关键点：
- 主体单位： 东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司
- 核心内容： 公开了一种电子光学镜筒及带电粒子束检测和成像设备，能够快速高效检查和调整对中性。
- 关键技术： 包括筒体、消像散组件、光阑、探测器和物镜等设计，支持电子束偏转及精准检测。
- 专利类型： 发明专利
- 申请时间： 2024年11月25日
- 公布时间： 2025年3月11日
- 地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼
如有进一步需求，可联系该公司获取详细信息。
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