天眼查App显示,导语: 近日,山东有研半导体材料有限公司及有研半导体硅材料股份公司的一项发明专利正式公布。该专利涉及一种基于机器视觉的直拉单晶生长界面中轴轨迹监测系统与方法,属于半导体材料生长领域。
关键点:
- 专利名称:一种基于机器视觉的直拉单晶生长界面中轴轨迹监测系统与方法
- 申请时间:2024年11月19日
- 公布时间:2025年3月11日
- 核心功能:通过双视角摄像机和图像采集分析系统,快速准确监测单晶生长界面中轴位置及运动轨迹
- 技术优势:适应多种热场布置,提高生产效率,精确反映单晶生长界面运动轨迹
- 主体单位:山东有研半导体材料有限公司、有研半导体硅材料股份公司
- 地址:山东省德州市经济技术开发区袁桥镇东方红东路6596号
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