天眼查App显示，导语：上海至纯洁净系统科技股份有限公司及其关联公司至微半导体（上海）有限公司近日获得一项实用新型专利授权，专利名称为“一种晶圆传输装置”，该专利涉及晶圆传输技术领域，旨在提高晶圆传输的效率和可靠性。

关键点：
- 专利名称：一种晶圆传输装置
- 专利号：CN202420669579.X
- 申请时间：2024年4月2日
- 授权时间：2025年3月11日
- 申请人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司、至微半导体（上海）有限公司
- 发明人：施钦天、刘大威、徐铭、崔佳伟
- 技术特点：装置包括R轴、Z轴和X轴直线模组，通过固定间距的片叉单元实现晶圆的高效传输，结构简单且可靠性高。

该专利的授权将进一步增强公司在半导体设备领域的技术竞争力。

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