深圳中科飞测科技股份有限公司发布新型半导体X射线量测系统专利

天眼查App显示,导语: 深圳中科飞测科技股份有限公司近日公布了一项关于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统的发明专利。该专利涉及一种创新的X射线量测技术,旨在提高半导体样品的尺寸测量精度。

关键点:
- 专利名称: 一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统
- 申请时间: 2024年11月8日
- 公布日期: 2025年3月11日
- 申请人: 深圳中科飞测科技股份有限公司
- 发明人: 骆荣辉、崔建华、陈治均、白园园、马砚忠、陈鲁
- 技术特点: 结合CD-SAXS和XRR量测系统,提高模型计算准确性

联系方式:
- 地址: 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号101、102
- 代理机构: 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙)

该专利的公布标志着深圳中科飞测科技股份有限公司在半导体量测技术领域的进一步突破,预计将对半导体制造行业产生重要影响。

免责声明:本文内容由开放的智能模型自动生成,仅供参考。

最新文章
Copyright © DoNews 2000-2025 All Rights Reserved
蜀ICP备2024059877号-1