深圳新宙邦科技股份有限公司公布一种BOE蚀刻液发明专利

天眼查App显示,导语: 深圳新宙邦科技股份有限公司于2025年3月14日公布了一项关于BOE蚀刻液的发明专利,旨在解决现有蚀刻液在速率、均一性和寿命方面的不足。

关键点:
- 发明提供一种包含氟化氢、氟化铵和腐蚀抑制剂的BOE蚀刻液。
- 腐蚀抑制剂包含特定结构式化合物,可提高蚀刻均匀性并减少表面缺陷。
- 该蚀刻液具有较高的氧化硅/氮化硅和Si蚀刻选择比,使用寿命更长。
- 申请时间为2024年11月19日,专利状态为已公布。
- 公司地址位于广东省深圳市坪山区,邮编518000。

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