天眼查App显示，导语： 北京北方华创微电子装备有限公司的一项发明专利于2025年3月18日公布，涉及一种射频电源的功率调节方法及半导体工艺设备。该技术通过动态功率调节，提升半导体工艺中膜厚一致性，简化控制逻辑，扩大工艺窗口。

关键点：
- 专利名称：射频电源的功率调节方法及半导体工艺设备
- 申请时间：2024年12月26日
- 公布时间：2025年3月18日
- 申请人：北京北方华创微电子装备有限公司
- 发明人：李佩贞、于树泉、张璐
- 核心功能：根据实际负载功率和标准负载功率动态调节射频电源，确保功率输出稳定。
- 技术优势：结构简单，控制逻辑清晰，适用于多种工艺配方。
- 地址：北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号

如有进一步咨询需求，请联系北京北方华创微电子装备有限公司。

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