北京石墨烯研究院发明专利公布:气相沉积生长石墨烯晶圆技术

天眼查App显示,导语:北京石墨烯研究院及北京石墨烯研究院有限公司的一项发明专利于2025年3月18日公布,涉及气相沉积生长石墨烯晶圆的载具、上料机构及装置。

关键点:
- 事件类型:专利公布
- 主体单位:北京石墨烯研究院、北京石墨烯研究院有限公司
- 核心技术:通过优化载具设计,实现石墨烯晶圆批量化、均匀性制备,提升气流场及温度场均匀性。
- 申请时间:2024年12月20日
- 公布时间:2025年3月18日
- 专利类型:发明专利
- 地址:北京市海淀区苏家坨镇翠湖南路13号院中关村翠湖科技园2号楼
- 联系信息:邮编100095,代理机构为北京纪凯知识产权代理有限公司

如需了解更多详情,可联系相关单位或查阅官方公布资料。

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