天眼查App显示，导语： 北京北方华创微电子装备有限公司于2025年3月21日公布了名为“输送系统和扩散炉”的发明专利，该技术属于半导体加工领域，旨在解决扩散炉进气管路易被硼酸堵塞的问题，提升工艺效率并降低维护成本。

关键点：
- 发明专利名称：输送系统和扩散炉
- 公布时间：2025年3月21日
- 申请人：北京北方华创微电子装备有限公司
- 核心功能：通过优化进气组件设计，减少硼酸堵塞问题，提高工艺效率。
- 技术领域：晶体生长、半导体加工
- 地址：北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号

如有进一步咨询需求，可联系北京北方华创微电子装备有限公司。

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