专利授权公告:芯片加工用激光刻蚀智能控制方法及装置

天眼查App显示,导语:江苏永鼎股份有限公司的一项发明专利“芯片加工用激光刻蚀的智能控制方法及装置”正式获得授权。该专利涉及激光刻蚀技术领域,旨在解决现有技术中微槽粗糙度难以精确控制的问题。

关键点:
- 主体单位:江苏永鼎股份有限公司
- 专利类型:发明专利
- 授权时间:2025年3月21日
- 申请时间:2024年10月22日
- 核心内容:通过生成激光控制参数、模拟激光刻蚀微槽图像、分析微槽电气性能,优化激光刻蚀参数,实现对微槽底部粗糙度的有效控制。
- 技术目标:精准分析和优化激光刻蚀参数与微槽电气性能之间的关系,提升刻蚀精度。
- 地址:江苏省苏州市吴江区汾湖高新区国道路1788号

如有进一步咨询需求,可联系江苏永鼎股份有限公司。

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