天眼查App显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司近日获得一项实用新型专利授权，专利名称为“一种预防局部颗粒聚集结构”，专利号为CN202421473602.4，授权日期为2025年4月8日。
关键点：
- 专利类型：实用新型专利，涉及基板清洗设备技术领域。
- 核心功能：通过升降驱动件、磁力转轴挡片组件等结构，预防晶片与升降Pin顶针接触位置出现颗粒聚集，提升清洗效果。
- 申请人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，地址为辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号。
- 代理机构：沈阳科苑专利商标代理有限公司。
- 授权时间：2025年4月8日正式生效。
该专利结构简单，拆装检修方便，适用于基板清洗设备领域，具有较高的实用价值。
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