天眼查App显示，导语： 中节能万润股份有限公司的一项关于电子束光刻胶聚合物的发明专利正式获得授权，该专利涉及高分辨率、高灵敏度光刻胶技术领域。
关键点：
- 专利名称：一种用于电子束光刻胶的聚合物及其制备方法和应用。
- 申请时间：2024年11月19日；公布时间：2024年12月20日；授权时间：2025年4月8日。
- 核心技术：聚合物由单体A、B、C通过自由基引发剂合成，分子量范围为2000-20000Da，分散系数1.0-3.0。
- 应用特点：配制的光刻胶组合物具备高分辨率与高灵敏度，适用于电子束光刻领域。
- 地址：山东省烟台市经济技术开发区五指山路11号；邮编：264006。
联系机构：北京中创博腾知识产权代理事务所。
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