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北京北方华创微电子装备有限公司于2025年4月11日公开了一项关于“半导体热处理设备及其工艺腔室”的发明专利。该专利旨在通过优化光波过滤与热辐射传递技术，实现超低温工艺能力，提升半导体制造效率。
关键点：
- 主体单位：北京北方华创微电子装备有限公司
- 专利类型：发明专利
- 申请时间：2025年1月9日
- 公开时间：2025年4月11日
- 核心技术：通过增反膜和增透膜设计，过滤短波长光以减少热负荷，同时透过长波长用于热辐射传递。
- 应用领域：半导体制造中的热处理工艺，支持超低温工艺需求。
- 地址：北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
- 发明人：陈二庆、张吉初
如有进一步咨询，请联系北京北方华创微电子装备有限公司。
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