天眼查App显示，导语：
近日，沈阳富创精密设备股份有限公司的一项发明专利正式公布，涉及一种适用于半导体行业的快慢抽真空角阀。该专利旨在优化真空角阀技术，提升半导体制造中的洁净度和空间利用率。
关键点：
- 主体单位：沈阳富创精密设备股份有限公司
- 核心内容：发明了一种快慢抽真空角阀，具备双向开门运动、双流导功能及缓冲结构设计。
- 专利状态：已公布（2025年4月11日）。
- 特殊优势：减小使用空间，避免机械颗粒产生，提高洁净度。
- 技术领域：真空角阀技术，适用于半导体行业。
- 地址：辽宁省沈阳市浑南区飞云路18甲-1号
- 申请人：赵子旭、李加平、辛洪旭
如有进一步需求，可联系沈阳富创精密设备股份有限公司。
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