天眼查App显示，导语： 沈阳芯源微电子设备股份有限公司于2025年4月11日公布了一项名为“基板边缘检测设备”的发明专利，涉及半导体加工技术领域，旨在提升光源利用效率。

关键点：
- 专利名称： 基板边缘检测设备
- 申请人： 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
- 申请时间： 2025年1月23日
- 公布时间： 2025年4月11日
- 专利类型： 发明专利
- 核心内容： 设备包括基台、承载组件、照明单元、反射镜单元和拍摄单元，通过全反射镜提升光源利用率，减少能源浪费。
- 地址： 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
- 代理机构： 上海恒锐佳知识产权代理事务所（普通合伙）

该专利技术为半导体加工领域提供了更高效的检测解决方案。

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