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近日,罗博特科智能科技股份有限公司的一项实用新型专利“适用于硅片的取片装置”正式获得授权。该专利涉及硅片取放技术,旨在减少硅片工艺面的污染和损伤。
关键点:
- 主体单位:罗博特科智能科技股份有限公司
- 专利名称:适用于硅片的取片装置
- 专利类型:实用新型
- 授权时间:2025年4月18日
- 核心功能:通过特殊结构的托杆设计,避免硅片正面或背面接触容纳槽底部,减少污染与损伤。
- 申请时间:2024年7月10日
- 地址:江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
- 专利号:CN202421618034.2
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