天眼查App显示，2025年5月6日，「分气装置及沉积设备」正式进入专利公布阶段。申请人为江苏微导纳米科技股份有限公司，该项半导体设备专利涉及气体分配与沉积技术领域。据专利信息显示，该发明显著优化了分气装置的结构复杂性，并降低了制造成本。发明人为荒见淳一。 「本发明提供了一种分气装置及沉积设备，包括壳体、旋转阀本体和驱动件。通过驱动件的驱动，旋转阀本体可以在打开位置和关闭位置之间切换，从而通过一个旋转阀本体就可以实现对N个第二通道的清洁气体的通断控制，简化了整个分气装置的结构，降低了装置的制造成本。」

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