苏州纳芯微电子股份有限公司多压力传感器芯片封装结构专利获授权(传感器技术专利快讯)

天眼查App显示,2025年5月6日,「多压力传感器芯片封装结构」正式进入专利权的授权阶段。申请人为苏州纳芯微电子股份有限公司,该项传感器技术专利涉及多压力传感器芯片的高效集成封装应用。据专利信息显示,该技术实现了显著优化,有效减少了基板面积和封装材料的使用量,使得传感器模块更加紧凑。发明人为于成奇、段玉龙、刘阳。 「多压力传感器芯片封装结构」包括基板、设置于基板上的多个压力传感器芯片以及进气壳体。压力传感器芯片的敏感单元可分别对基板两侧的压力进行测量,主进气腔体容纳所有压力传感器芯片,并连通其敏感单元的第一面,副进气腔体独立设置,分别连通不同压力传感器芯片敏感单元的第二面。这种设计显著提升了多颗压力传感器芯片测量结构的集成效率。

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