天眼查App显示,2025年5月6日,「含氟树脂及浸没式光刻胶」正式进入专利的公布阶段。申请人为湖北鼎龙芯盛科技有限公司、鼎龙(潜江)新材料有限公司、湖北鼎龙控股股份有限公司,该项光刻胶领域专利涉及光刻胶技术的应用场景。据专利信息显示,该技术能够显著优化含氟树脂的自聚集性能,并在固化的光刻胶膜表面形成一层均匀的植入式阻挡层,有效阻止光刻胶膜中的组分溶解于水中,同时在显影液中也容易除去。发明人为张斌、栾力冰、关琬婷。「本申请实施例提供一种含氟树脂及浸没式光刻胶,含氟树脂含有具有含氟侧基的第一重复单元,以及结构通式为的封端基团,其中Rf1选自氟、三氟甲基、全氟乙基、全氟丙基、六氟异丙基、全氟丁基中的至少一种,n为不小于1的正整数。」
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