天眼查App显示,2025年5月13日,「一种具有良好力学性能的MEMS传感器」正式进入专利公布阶段。申请人为江苏意可航空科技股份有限公司,该项MEMS传感器专利涉及测量与测试技术领域,适用于提高MEMS传感器的力学性能和信号传递精度。据专利信息显示,该发明通过优化结构设计,显著提升了传感器的整体刚度和力学传递性能,有效避免了信号衰减,实现了更为精确的物理量感知和测量。发明人为孙文晔、俞子峰。「本发明公开了一种具有良好力学性能的MEMS传感器,通过向空腔内灌胶固化PCB线路板与MEMS芯片的相对位置,实现水平方向上的刚性强度;同时利用刚性盖板上设置的预紧结构压限在MEMS芯片的上部,形成立体刚性结构,最大程度地缩短了PCB线路板与外部力学环境的传递路径,外部力能够直接传递至MEMS芯片最近的位置,产品具备良好的力学传递性能。」
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