天眼查App显示，2025年5月16日，「半导体工艺设备及其控制方法」正式进入专利公布阶段。申请人为北京北方华创微电子装备有限公司，该项半导体设备专利涉及半导体工艺设备的控制技术领域。据专利信息显示，该发明显著优化了多工艺任务场景下晶圆的工艺结果一致性。发明人为牟成良、相会凤。 「本发明提供了半导体工艺设备及其控制方法；其中，在半导体工艺设备控制方法中，响应于当前工艺任务开始执行，根据半导体工艺设备的标识信息的值判断是否需要提前对下一工艺任务的控制模式进行切换；若是，控制下一工艺任务的控制模式从管道模式切换为串行模式。这种控制方式，避免了当前工艺任务执行过程中耗材组件的消耗量达到报警上限值进行报警提示下线时，下一工艺任务的晶圆跟进而导致工艺未完成的情形，从而保证了多工艺任务场景下晶圆的工艺结果一致性。」

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