天眼查App显示，2025年5月23日，「一种扫描电镜真空系统」正式进入专利公布阶段。申请人为北京中科科仪股份有限公司，该项显微镜技术领域专利涉及扫描电镜真空系统的改进与应用。据专利信息显示，该系统能够实现低真空模式和高真空模式的自由切换，同时通过减少器件数量降低成本、减小体积并节省空间。发明人为杨聚星。「本发明涉及显微镜技术领域，公开了一种扫描电镜真空系统，包括电子枪、镜筒、样品室、分子泵及机械泵等组件，并具备两种运行模式：低真空模式下关闭第四阀门和第六阀门，打开第一阀门、第三阀门和第五阀门；高真空模式下关闭第三阀门和第五阀门，打开第一阀门、第四阀门和第六阀门。此设计显著优化了系统功能，同时降低制造成本与空间占用。」

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