天眼查App显示，2025年5月27日，「半导体工艺设备及其控制方法」正式进入专利的公布阶段。申请人为北京北方华创微电子装备有限公司，该项半导体设备专利涉及半导体工艺设备的容错控制技术。据专利信息显示，该发明通过报警类型灵活进行容错控制，显著优化了半导体工艺设备的产品质量和产能。发明人为慕晓航、李浩瀚、杨婕和李文博。 「本发明提供了半导体工艺设备及其控制方法；其中，在半导体工艺设备执行工艺配方的每个工艺步骤过程中，若当前工艺步骤产生报警，确定报警类型；其中，工艺配方中配置有多个报警类型以及每个报警类型对应的容错控制操作，容错控制操作用于表征发生报警时，保证半导体工艺设备处于安全状态的补救措施；根据报警类型确定对应的目标容错控制操作，并控制半导体工艺设备按照目标容错控制操作运行，以对报警出现时的产品进行补救，从而通过报警类型灵活进行容错控制，保证了半导体工艺设备的产品质量和产能。」

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