天眼查App显示，2025年5月27日，「一种CVD气氛用稀有气体He的回收装置及方法」正式进入专利公布阶段。申请人为杭氧集团股份有限公司，该项稀有气体回收专利涉及化学气相沉积（CVD）过程中稀有气体He的高效回收与净化技术。据专利信息显示，该技术实现了显著优化的氦气回收率，并有效降低了因一次性处理导致的产品损失，从而减少了资源浪费。发明人为李冬锋、邓波、夏雨涵、沈昕悦、盛文龙、韩小磊、张成雄、姜文瀚、朱程浩、袁士豪、吴秀杰。 「本发明公开了一种CVD气氛用稀有气体He的回收装置及方法，涉及的稀有气体回收领域，其中CVD气氛用稀有气体He的回收装置包括依次连接的碱性干燥装置、一级过滤装置、氦气回收膜组、微量杂质脱除装置以及精密过滤装置，碱性干燥装置与CVD反应器的废气出口相连，一级过滤装置用于对废气初步过滤脱除颗粒粉尘，精密过滤装置出口与氦气回收膜组相连，以使精密过滤装置得到的高纯氦气循环净化，本申请提供的CVD气氛用稀有气体He的回收装置及方法，实现了对CVD气氛中稀有气体He的高效回收与净化。本申请循环净化的设计不仅提高了氦气的回收率，还有效降低了因一次性处理导致的产品损失，从而减少了资源的浪费。」

免责声明：本文内容由开放的智能模型自动生成，仅供参考。