天眼查App显示，2025年5月30日，「测量装置、半导体设备及测量管路清洗效率的方法」正式进入专利的公布阶段。申请人为江苏微导纳米科技股份有限公司，该项半导体测量专利涉及对半导体设备中管路清洗效率的检测技术。据专利信息显示，该技术可显著优化半导体表面洁净度，从而提高芯片良率和性能。发明人为吴围、李荣生。 「本申请提供了一种测量装置、半导体设备及测量管路清洗效率的方法，通过在半导体设备中设置测量装置，可以对半导体设备管路的清洗效率进行侦测，以此确保半导体表面的洁净度，进而提高半导体芯片的良率和性能。」

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