天眼查App显示,2025年5月30日,「实时主动聚焦的曝光机和智能双平台LDI系统」正式进入专利公布阶段。申请人为苏州天准科技股份有限公司,该项激光加工领域专利涉及高速高精度曝光成像技术。据专利信息显示,该技术实现了显著优化的生产效率与曝光精度。发明人为秦晓军、刘冰、魏亚菲、胡辉来、丁治祥、薛峰。 「本发明提供了一种实时主动聚焦的曝光机和智能双平台LDI系统,属于激光智能加工领域,曝光机包括曝光头和主动聚焦模组;曝光头包括激光源和曝光镜头模块;主动聚焦模组包括聚焦位移传感器、补偿光楔、光楔驱动模块和调焦处理器;光楔驱动模块基于聚焦位移传感器测量的产品表面起伏数据调整补偿光楔,实现实时聚焦调整;本申请的曝光机采用了主动聚焦方案,适应高速高精度曝光成像;系统采用前后双工位交替曝光,生产效率高,便于在IC载板、软板、HDI板、多层板、陶瓷基板、合金板等领域推广应用。」
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