海目星激光科技集团股份有限公司晶片分离装置及晶片分离方法专利公布(晶体生长专利快讯)

天眼查App显示,2025年5月30日,「一种晶片分离装置及晶片分离方法」正式进入专利的公布阶段。申请人为海目星激光科技集团股份有限公司,该项晶体生长专利涉及晶片分离技术领域。据专利信息显示,该技术通过液体传导的整体超声与直接接触式超声的结合,显著优化了裂纹扩展的均匀性和剥离过程的精确性,实现了晶片剥离稳定性和效率的突破性进展。发明人为刘依婷、黄健宏、孙玉芬。「本申请公开了一种晶片分离装置及晶片分离方法。该晶片分离装置包括:容器,用于承载晶锭;超声振子,设置于容器的底壁上,用于向浸入容器内液体中的晶锭提供初次高频超声振动,以对晶锭进行预剥离;剥离机构,包括提升组件和超声工具头,提升组件连接超声工具头并用于驱使超声工具头接触晶锭的端面,超声工具头用于在接触晶锭的端面时向晶锭提供二次高频超声振动,以从晶锭上剥离出晶片。通过上述方式,本申请提供的晶片分离装置优化了裂纹扩展的均匀性和剥离过程的精确性,显著提高了晶片剥离的稳定性和效率。」

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