宁波江丰电子材料股份有限公司一种镍铂溅射靶材EBSD检测的制样方法专利公布(测量测试专利快讯)

天眼查App显示,2025年5月30日,「一种镍铂溅射靶材EBSD检测的制样方法」正式进入专利公布阶段。申请人为宁波江丰电子材料股份有限公司,该项测量测试专利涉及镍铂溅射靶材的制样技术。据专利信息显示,采用该方法制得的待测样品表面光滑平坦,无明显划痕,进行EBSD检测时样品衍射菊池带清晰,样品标定率显著优化。发明人为边逸军、姚力军、周佳焕。 「本发明提供了一种镍铂溅射靶材EBSD检测的制样方法。所述制样方法包括:(1)对镍铂溅射靶材进行切割,得到镍铂靶块;(2)对所述镍铂靶块依次进行研磨、机械抛光和离子抛光,得到待测样品;其中,所述离子抛光的过程中,电压先升高后降低。采用本发明的方法制得的待测样品表面光滑平坦,无明显划痕,进行EBSD检测时样品衍射菊池带清晰,样品标定率较高。」

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