天眼查App显示，2025年5月30日，「一种在晶圆显影设备上双路自校准静电测量装置及其方法」正式进入专利公布阶段。申请人为深圳市中明科技股份有限公司，该项集成电路技术领域专利涉及晶圆显影设备的静电测量与监控。据专利信息显示，该发明通过优化维护和调整过程，显著提升了系统的稳定性和整体性能。发明人为邹来发、顾大元、辛耀锋、李萍。本发明提出了一种包含接地电阻检测模块、晶圆表面静电监控模块、双路自校准模块及控制与显示单元的装置，其设计提高了测量准确性，并增强了系统的可靠性。

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