天眼查App显示，2025年6月3日，「测试样品及其制备方法」正式进入专利权的授权阶段。申请人为苏州长光华芯光电技术股份有限公司、苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司，该项测量测试专利涉及测试样品制备领域。据专利信息显示，该技术能够显著优化样品测试精度与效率。发明人为王俊、张燕、肖垚、李顺峰、宋木、李刘晶、赵武、苟于单、张弘、李泉灵。

本发明提供一种测试样品及其制备方法，制备方法包括：形成初始样品，包括在半导体衬底层中形成凹槽，所述凹槽自所述半导体衬底层的一侧表面延伸至部分所述半导体衬底层中；在所述凹槽的内壁以及所述凹槽侧部的所述半导体衬底层的表面形成超晶格层；在所述超晶格层背离所述半导体衬底层的一侧表面形成绝缘保护层；在所述绝缘保护层背离所述超晶格层的一侧表面形成导电层，所述导电层背离绝缘保护层一侧的所述凹槽作为空隙；采用聚焦离子束对所述初始样品进行切割，形成测试样品，切割采用的切割面经过所述空隙且垂直于所述半导体衬底层。

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