天眼查App显示，2025年6月6日，「一种紫外光刻设备透镜支架组件的表面处理方法」正式进入专利公布阶段。申请人为安徽富乐德科技发展股份有限公司，该项光刻技术专利涉及紫外光刻设备中透镜支架组件的表面处理方法。据专利信息显示，该技术可实现释气量≤0.14×10⁻⁹Torr·L/s·cm²、193nm反射率≤2.7％、耐辐照寿命＞620小时，显著提升光刻成像精度与设备稳定性。发明人为王圣福、贺贤汉、张继月。本发明通过飞秒激光加工三维曲面微结构、无硫梯度阳极氧化及纳米复合减反射层制备技术，大幅优化了紫外光刻设备性能，为高端制造领域提供了重要技术支持。

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