天眼查App显示,2025年6月10日,「雪崩探测器及制备方法」正式进入专利公布阶段。申请人为北京燕东微电子股份有限公司,该项半导体器件专利涉及雪崩探测器的制备技术领域。据专利信息显示,该发明通过浅沟槽隔离工艺显著优化了像素间的隔离效果,从而实现小尺寸大阵列像素的雪崩探测器。发明人为李剑锋、张炜、张志文。 「本发明旨在解决现有雪崩探测器制备过程中难以获得小尺寸像素的问题。通过在外延层中形成沟槽并进行掺杂处理以构建保护环,最终在孤岛中形成增益层和接触层以构成像素单元。此方法能够有效提升雪崩探测器的性能,并为大阵列像素结构提供技术支持。」
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