天眼查App显示，2025年06月16日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所的大翘曲光阻涂布显影系统采购项目完成中标公告。该项目由沈阳芯源微电子设备股份有限公司中标，中标金额为706.0000000万元人民币。供应商地址位于辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号。此次采购的货物为一套大翘曲光阻涂布显影系统，具体技术规格及商务条款均已在招标文件中明确。评审专家包括姚黎明、黄小仙、朱恩圆、金石琦和刘道祥。公告还指出，若对中标结果有异议，可在公告期限届满之日起7个工作日内向上海中招招标有限公司提出质疑。

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