天眼查App显示，2025年6月20日，「一种透明导电氧化物的原位清洗方法及镀膜设备」正式进入专利公布阶段。申请人为江苏微导纳米科技股份有限公司，该项显示技术领域专利涉及镀膜设备的高效清洗与维护优化。据专利信息显示，该技术可显著优化镀膜设备内部透明导电氧化物薄膜及颗粒物的清除效率，降低维护成本。发明人为李翔、袁红霞、王雅欣和姚俊。 「本申请涉及显示技术领域，公开一种透明导电氧化物的原位清洗方法及镀膜设备，其中，所述原位清洗方法，包括：向镀膜设备的反应腔内部通入吸附气体混合气，使所述吸附气体混合气与透明导电氧化物反应形成有机金属副产物；对所述反应腔内部加热，使所述有机金属副产物挥发；其中，所述吸附气体混合气包括烷类气体；可以使镀膜设备在不破空、不降温、不拆装部件的条件下，对内部所沉积的透明导电氧化物薄膜及颗粒物进行有效清除，从而有效提高了镀膜设备的清洗效率，降低维了护成本。」

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