天眼查App显示，2025年6月20日，「一种椭偏测量系统及测量方法」正式进入专利公布阶段。申请人为深圳中科飞测科技股份有限公司，该项光学技术专利涉及精密测量领域中的椭偏测量技术。据专利信息显示，该技术能够显著优化测量精度和数据可靠性。发明人为马砚忠、杨长英、孙晶露和陈鲁。 「一种椭偏测量系统及测量方法」公开了一种包含光路产生组件、锯齿光阑、分离组件和光路接收组件的系统。通过设置锯齿光阑来减小照射光束的数值孔径，同时通过锯齿调制光强分布，抑制菲列尔衍射，从而有效减小照射光斑尺寸。此外，分离组件可滤除信号光束中的衍射杂散光，进一步提升测量结果的准确性。

免责声明：本文内容由开放的智能模型自动生成，仅供参考。