天眼查App显示，2025年6月20日，「一种铝靶材和铜背板靶材组件中反溅射面的表面处理方法」正式进入专利公布阶段。申请人为合肥江丰电子材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司，该项靶材技术专利涉及对金属材料的镀覆及表面化学处理领域。据专利信息显示，该方法能够显著优化反溅射物与反溅射面的结合效果，从而保证溅射过程的稳定性。发明人为姚力军、朱雪明、王青松、许国。「本发明提供了一种针对反溅射面的表面处理方法，包括喷砂处理、硅烷偶联剂处理和等离子体处理，通过特定比例的甲基三乙氧基硅烷和γ‑甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷实现有效结合，避免反溅射物脱落，提升溅射稳定性。」

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