天眼查App显示,2025年6月24日,「晶圆拾取装置」正式进入专利权的授权阶段。申请人为吉林华微电子股份有限公司,该项半导体设备专利涉及晶圆制造过程中的拾取操作场景。据专利信息显示,该装置通过设置多个固定卡位,使操作人员在使用镊子拾取晶圆过程中,避免由于人为拾取导致错齿给晶圆带来的划痕,提升晶圆良率达显著优化水平。发明人为曲坤、王翌博。本申请提供的一种晶圆拾取装置,包括镊子和定位组件;镊子包括真空管,真空管一端头设置有扁平状的镊子头,镊子头上设置有多个气孔,真空管上还设置有气体控制阀门;定位组件包括固定柱和活动组件,可有效提高晶圆搬运过程中的稳定性与可靠性。
免责声明:本文内容由开放的智能模型自动生成,仅供参考。